[01626770]亚微米级定位精确度的工作台及其控制系统
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技术详细介绍
该工作台和系统可用于高精度测量仪器及精密加工设备的微动机构和微动补偿机构。该系统由单层Ｘ－Ｙ弹性微动工作台、电致伸缩微位移器及微机控制系统等三部分组成。微动工作台采用柔性铰链，利用四连杆机构原理，其结构简单，体积小，工作可靠，单层可实现Ｘ－Ｙ两个运动，适于各种环境。电致伸缩微位移器工作电压低，分辨率高，采用单板机闭环控制，可进行高精度定位或微动进给等。应用该系统后，可在不改变原设备条件下将原设备的精度提高到亚微米级，使产品的售价提高一倍至几倍，且成本低，经济效益显著。