[00111011]一种微流控芯片中被动微混合器和微反应器的制作方法
交易价格：
面议
所属行业：
电子元器件
类型：
专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：200610045921.5
交易方式：
技术转让
联系人：
东北大学
进入空间
所在地：辽宁沈阳市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一种微流控芯片中被动微混合器和微反应器的制作方法,首先进行底面和侧面均带有亚微结构 的玻璃母模芯片的制作,利用玻璃母板芯片制备三面或全通道均具有亚微结构的全玻璃芯片或全玻璃混合芯片,或通过浇注聚合物翻模得到与玻璃母板微结构互补的 阳模,利用该阳模再次浇注复制得到具有玻璃母板结构的聚合物基材的芯片,进而通过封合制得全聚合物混合芯片或复合芯片。本发明方法可以用玻璃为基础材料, 基材成本低,机械强度高,光学透明,对制作环境无特殊要求,只需一次曝光和一次刻蚀,形成的混合通道中的亚微结构具有一定的流线型,在微流控分析芯片及微 流动化学反应器工程中有广泛的应用潜力。
一种微流控芯片中被动微混合器和微反应器的制作方法,首先进行底面和侧面均带有亚微结构 的玻璃母模芯片的制作,利用玻璃母板芯片制备三面或全通道均具有亚微结构的全玻璃芯片或全玻璃混合芯片,或通过浇注聚合物翻模得到与玻璃母板微结构互补的 阳模,利用该阳模再次浇注复制得到具有玻璃母板结构的聚合物基材的芯片,进而通过封合制得全聚合物混合芯片或复合芯片。本发明方法可以用玻璃为基础材料, 基材成本低,机械强度高,光学透明,对制作环境无特殊要求,只需一次曝光和一次刻蚀,形成的混合通道中的亚微结构具有一定的流线型,在微流控分析芯片及微 流动化学反应器工程中有广泛的应用潜力。
