[01012064]高性能直线超声电机及其伺服控制系统关键技术的研究
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技术详细介绍
该项目研究新型直线超声电机的运动机理，进行超声电机结构优化设计与有限元动力学计算；直线超声电机的可靠性分析；直线超声电机的驱动电源及其伺服控制系统的研究；直线超声电机的摩擦材料、压电陶瓷材料的研究；直线超声电机在半导体制造业的应用研究；直线超声电机的产品化的关键工艺研究。该项目是多年相关工作的基础上，对于高性能直线超声电机及伺服控制系统进行深入系统的研究，解决高性能直线超声电机及伺服控制系统出现的基础理论问题，自主创新，研制出相应的系列的新型高性能直线超声电机及伺服控制系统，获得自主知识产权，并将其应用于精密制造、汽车、电子信息产品制造设备和检测设备上。综上所述，该建议项目切实可行、研究基础雄厚、市场前景广阔，必将提高广东自主创新能力，加快建设创新型广东，促进广东经济社会发展。