[00924410]微型泵的设计与制造技术

微型机电系统是一个新兴的、多学科交叉的高科技领域，微型泵及微流量系统是其中的一个重要研究方向。该项目研究了多种微流量器件和系统（微零件、流量传感器、驱动装置、阀和泵等）的微机理、设计制造和测试技术，取得了以下成果：利用硅微细加工技术研制出中国第一个硅微热致动泵，性能达到国际先进水平；利用特殊材料加工研制出性能优良的聚酰亚胺微型阀。探索了硅微细加工工艺、准ＬＩＧＡ工艺、精密电火花加工技术和特殊材料加工等新的微加工工艺，攻克了一批躲开机械制造工艺的关键技术。开展微管道过流特性研究，建立了测试系统，测试分析了不同尺寸和截面的微管道对流特性。开展了微型构件材料机械特性研究，建立了测试系统，测量了多种硅基材料微构件的弹性模量、残余应力、疲劳特性和破坏强度，为微型机械的设计和制造提供参考。建立了微型泵和微流量系统的力学模型和设计仿真方法。该项目已通过国家技术鉴定，申报发明专利１项，发表论文７０余篇，部分被ＳＣＩ，ＥＩ收录。部分成果（小型泵和微型测试记录仪）已有应用。与法、美国有合作研究。