[00902039]一种新型大功率激光探头及制造方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种新型大功率激光探头部件,涉及激光功率检测领域。该新型大功率激光探头对现有的圆盘式薄膜热电堆型激光探头进行优化改进,结构呈现圆柱状,包括接收激光照射的吸热层、传导热量的铝或铜金属衬底、位于侧面纵向排布经过氧化掺杂的薄膜热电偶层以及引线。吸热层接受大功率激光照射,在吸收点产生热量,热量纵向传输至铝衬底背面；沿着传输方向,吸收层与衬底底层有温度差,纵向的热电偶薄膜层产生热电势；引线将薄膜热电偶层与电压表相连,测量电动势大小进而计算得到激光功率。和传统基于热电堆的激光探头相比,本发明设计的探头有更高的热电信号,更快的响应时间,生产成本低,能有效投入到工业应用监测激光功率。