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技术详细介绍
该获得工具一溅离子泵具有超高真空环境及清洁的真空表面，减少气体分子的砰撞几率，形成单分子层的时间长，是世界公认的一种清洁超高真空获得理想方法，极限真空度高，无污染、无噪声、无振动，维护方便等优点。目前应用领域愈来愈广泛，主要有：表面科学分析与研究，材料提纯，光电器件，夜视技术，粒子加速器，储存环，可控热核反应，空间模拟装置电真空排气装置等。主要性能指标：极限其空度：优于５×１０〈’－９〉Ｐａ；对氮气的抽速（ＳＮ）：２５升／秒；５０升／秒；１００升／秒；２００升／秒；４００升／秒；三极式溅射离子泵对惰性气体氩的抽速：Ｓ〈，Ａｒ〉＝２０－３０％Ｓｎ。市场前景：该产品国内市场占有率为５０％以上，其生能指标优于国内其它厂家产品，可完全替代外国货，尤其产品价格仅相当于进口产品的１／３－１／４。随着科学技术的发展以及真空科学与技术向其它领域的扩展与渗透，该产品将在超高真空领域中得到愈来愈多的应用。认定情况：１９９４年由北京市科委认定为高新技术 发展阶段：定型生产。