[00801975]微小型泵及其制造测试技术
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技术详细介绍
该项目研究了微小型泵及其制造测试技术。该微小型泵采取硅微热致动原理。硅微热致动泵为两片对称结构及比面驱动的创新设计，生产工艺简单，工作效率高，输入电压低，输出流量大；驱动薄膜3mm×3mm；在电压为16V时，最大输出流量为43μL/min；改进后最大输出流量可达190μL/min。经过技术鉴定，本微小型泵为国内首创，达到国际先进水平。该项目研究开发的测试系统测定了不同截面和尺寸的微管道时流特性，证明在微米量级管道内的流体过流特性仍遵守N-S议程，但受到气泡、管道粗糙度和表面张力的影响，研究成果受到国内外同行的重视。锥形管道正反向的过流特性研究是前人从未做过的，为无阀微型泵提供了物理解释的设计仿真依据。