[00695325]铟基氧化物ITO单分散纳米粉末中试研究

该研究来源于广西科学研究与技术开发计划项目课题“铟基氧化物ITO单分散纳米粉末中试研究”(编号：桂科能0330015-5D)的研究工作。 该项目属于新材料技术领域，特别涉及一种单分散光电功能材料ITO纳米粉末的制备技术。 由于氧化铟锡(ITO)纳米粉体具有非常广泛的现实应用，但国内缺乏相应的制备技术，导致国内众多的显示器件厂家不得不从国外高价进口ITO靶材。该项目针对此问题，采用树脂吸附-水热法制备单分散氧化铟锡(ITO)纳米粉末小试规模和中试规模研究，对氯氧化铟锡初始浓度、离子交换树脂选择及用量、水热温度及水热时间、干燥方式等工艺参数同粉体性能之间的关系以及设备选材等进行了研究，建成年产5吨的中试生产线，得出了比较适合产业化的工艺条件。在此工艺下得到对ITO粉体的粒度进行控制，其中一种ITO纳米粉末的指标为：纯度大于99.99%，粉体组成与添加原料组成一致，扫描电镜观察颗粒分散性佳，D50=70nm，激光粒度测试仪显示D50=430nm，Dmax=800nm。采用该研究制备的粉末制成的靶材完全达到日本同类产品的性能指标，可以满足ITO薄膜溅射生产厂家现有生产线的要求。研究成果获得1项国家发明专利，发表并被SCI、EI收录论文4篇。成果居国内领先水平。