[00388783]硅基微泵的开发

研究的微型泵，尺寸为13×7×1mm<'3>，功耗仅为300mW，该泵最大流量达300μL/min。由于微型泵采用微电子技术的硅平面工艺、具有集成化与大批量生产的特点，而尺寸小则可减少无效体积，耗能低具备节能和环保的性质。微型泵响应快提高控制精度高能实现控制器与执行器的结合。因此，硅基微泵的开发已不是传统意义上的微型机械，而是信息电子时代全新理念下的新一代高科技产品。与传统的微型机械相比，硅基微泵具有以下优点：1.体积小，产品微型化加工尺寸在微米范围。2.成本低，采用集成化技术生产可与半导体器件成本相比拟。3.功耗底，与传统产品相比大大节约了能源。4.寿命长，往复振动达107次后微泵仍完好无损，性能无变化。5.操作方便，驱动电路原理简单，不会因控制不当造成损坏。微量流体控制系统在工程和医学等领域有多方面的现实或将来的可能应用。比如用于化学气相淀积，分子束外延过程中气体的精确控制；低温学或超导体的冷却；喷墨打印；气、液体的微量化学分析；血液分析，微量药液注射；或制作新型光电、电液原理变换元件等。