[00340503]基于电感耦合等离子体的单晶材料抛光装置及抛光方法
联系人：曹老师
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技术详细介绍
本发明涉及单晶材料抛光技术领域，公开了一种基于电感耦合等离子体的单晶材料抛光装置及抛光方法。本发明的基于电感耦合等离子体的单晶材料抛光装置包括矩管，矩管包括第一发生管、设于第一发生管外的第二发生管以及设于第二发生管外的第三发生管；与第二发生管及第三发生管连通的惰性气体提供装置；与第一气体发生管连通的刻蚀气体提供装置；与矩管连通的电火花发生器；电感线圈，矩管的出口设于电感线圈内，其连接有射频电源。本发明的基于电感耦合等离子体的单晶材料抛光方法基于上述抛光装置。本发明的基于电感耦合等离子体体的单晶材料抛光装置及抛光方法具有去除速率快、不引入亚表面损伤、不需要磨浆、不需要后清洗的优点。