[00339164]一种刀具、单晶碳化硅材料的加工方法及加工设备
联系人：曹老师
所在地：广东深圳市
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技术详细介绍
本发明涉及机械加工技术领域，提供了一种刀具、单晶碳化硅材料的加工方法及加工设备，本发明的刀具，至少刀头由单晶碳化硅材料制成，具有优良的机械强度、热稳定性和化学稳定性，适用于超精密加工。本发明采用电解液射流辅助磨削的方法对单晶碳化硅材料进行加工，使在工件表面被高速氧化后产生的氧化膜立刻被磨削去除，可增加磨削精度和磨削效率，磨削后不会对单晶碳化硅表面形成损伤层；用于加工单晶碳化硅材料的加工设备，包括磨削装置和射流装置，射流装置用于对单晶碳化硅工件喷射电解液，磨削装置用于对喷射电解液后的单晶碳化硅材料进行磨削加工，避免了二次损伤并且能提高磨削效率。