[00338986]一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法。该薄膜体声波谐振器包括：支撑层、谐振器本体和支撑体；薄膜体声波谐振器包括器件区和围绕器件区的非器件区，谐振器本体位于器件区内的支撑层上；非器件区内的支撑层包括多个条状的弯折结构，弯折结构向背离谐振器本体的一侧弯折；非器件区包括第一子区域和围绕第一子区域的第二子区域，支撑体设置于第二子区域内的所述支撑层背离谐振器本体的一侧；其中，弯折结构的延伸方向与支撑层的径向方向之间的夹角不为零，且位于谐振器本体同一侧的弯折结构相互之间无交叠。本实施例提供的薄膜体声波谐振器，可以得到厚度更小、残余应力更低的支撑层，进而提高谐振频率。