当前位置：首页 > 科技成果 > 详细页

[00336172]一种MOCVD设备的喷淋头

交易价格： 面议

所属行业： 化工生产

类型： 发明专利

技术成熟度： 通过小试

专利所属地：中国

专利号：CN201510062237.7

交易方式： 资料待完善

联系人：佛山市中山大学研究院

进入空间

所在地：广东佛山市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

登录后向技术服务商咨询

发布技术需求服务免费，交易还可领红包哦

技术详细介绍

摘要：本发明公开了一种MOCVD设备的喷淋头，包括将Zn源直接送进反应腔的Zn源管道，观察器以及辅助气体入口，所述喷淋头内腔顶部设有将所述辅助气体入口送入的气体进行折流过滤的折流机构，折流机构下设有若干漏斗形的送气管，各条送气管之间还包括冷却水管道。本发明的喷淋头，解决现有技术的喷淋头，反应物过早地受热反应，造成滤网阻塞的问题，并从结构上改进送气管道系统，让气体输送到基片表面前气流均匀无湍流，减少寄生反应和高温寄生沉积，提高薄膜生产效果。

[00336172]一种MOCVD设备的喷淋头

技术详细介绍

推荐服务：