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[00334503]一种在石墨工件表面沉积金属扩散层的方法

交易价格: 面议

所属行业: 化工生产

类型: 发明专利

技术成熟度: 通过小试

专利所属地:中国

专利号:CN201510518419.0

交易方式: 资料待完善

联系人: 北京石油化工学院

进入空间

所在地:北京北京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本发明公开了一种在石墨工件表面沉积金属扩散层的方法,首先将待沉积石墨工件和欲渗金属并排放置于空心阴极罩体内,构成等电位辉光放电阴极;将所述空心阴极罩体放置于直流脉冲渗金属设备的腔体中;在真空室内,惰性气体氩气在外加高压的作用下发生电离,轰击到所述欲渗金属上,使欲渗金属元素从表面被溅射出来;所述欲渗金属元素通过空间运输达到所述待沉积石墨工件的表面并被吸附,在所述待沉积石墨工件的表面沉积一层金属扩散层。该方法可以使金属扩散层与石墨工件结合牢固,不易磨损脱落,同时还具有轻金属良好的机械性能和电学性能。
摘要:本发明公开了一种在石墨工件表面沉积金属扩散层的方法,首先将待沉积石墨工件和欲渗金属并排放置于空心阴极罩体内,构成等电位辉光放电阴极;将所述空心阴极罩体放置于直流脉冲渗金属设备的腔体中;在真空室内,惰性气体氩气在外加高压的作用下发生电离,轰击到所述欲渗金属上,使欲渗金属元素从表面被溅射出来;所述欲渗金属元素通过空间运输达到所述待沉积石墨工件的表面并被吸附,在所述待沉积石墨工件的表面沉积一层金属扩散层。该方法可以使金属扩散层与石墨工件结合牢固,不易磨损脱落,同时还具有轻金属良好的机械性能和电学性能。

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