[00331718]基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器及其形成方法
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技术详细介绍
一种基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器及其形成方法。其中该探测器包括：基底(10)，基底中形成有贯穿基底顶表面和底表面的检测窗口(W)；两个异质悬臂梁(2)，每个异质悬臂梁位于基底之上，每个异质悬臂梁的固定端与基底相连，自由端悬空在检测窗口之上；单壁碳纳米管薄膜(3)，单壁碳纳米管薄膜桥接于两个异质复合悬臂梁的两个自由端之间，其中，异质悬臂梁包括第一材料层(21)和位于第一材料层之上的第二材料层(22)，第一材料层与第二材料层的热膨胀系数不相同。本发明的基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器具有灵敏度高、结构简单等优点。