[00331698]一种飞秒激光双光子聚合微纳加工系统及方法
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技术详细介绍
一种飞秒激光双光子聚合微纳加工系统及方法，所述系统包括：飞秒激光器(11)、外光路调制单元(12)、取像装置(13)、聚焦透镜(14)、位移台(16)、计算机(17)以及监控装置(18)，其中，取像装置(13)，用于对三维微纳器件的截面图形逐层进行取像，以使调制后的飞秒激光形成按照所述各层截面图形排列的并行光束。本技术方案不仅可以同时加工多个三维微纳器件，还可以对任意复杂的三维微纳器件进行逐层加工，从而提高加工效率和工艺流量；此外，在进行逐层微纳加工的过程中，位移台(16)只需沿微纳器件的截面厚度方向运动，这样不仅可以提高加工效率和工艺流量，还可以降低其在平面二维方向的定位精度要求，从而使加工工艺简化，难度降低。