[00327829]超净高纯微电子化学品制备技术
联系人：化工学院
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技术详细介绍
微电子化学品是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一，主要用于半导体制造过程，用以冲洗晶片及制作研磨剂、蚀刻剂和光刻胶去除剂等。本项目采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化制备了超净高纯电子化学品制备技术，成功制备了超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢等微电子化学品，产品性能达到超净高纯级过氧化氢（SEMI-C12， 金属离子杂质低于0.1ppb）。
技术要点：
创新点：采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化制备技术。技术成熟度：已建成年产1000吨的工业化装置。
●应用前景：全国建有的l5家33条超大规模集成电路生产线，对微电子化学品的需求量将达到7.2万t／a以上。
应用案例：
与上海华谊微电子化学品有限公司进行国家“863”计划0.09～0.2μm技术用SEMI-C12级超净高纯化学品的研究工作，建成年产1000吨的工业化装置。