[00327523]高精度相移干涉仪

技术原理

在科技快速发展的浪潮中，工业化生产要求越来越高。一方面，要求生产工艺越来越好，以提高制造效率和制造质量；另一方面，在生产过程中，需要对制造出的产品做各种缺陷检测，判定产品是否达到实际应用的要求，这无疑对检测设备提出更高要求。而相移干涉仪作为一种高精度微纳量级的检测设备，已经广泛的应用于光学检测、散斑分析、三维形貌测量及形变测量等众多领域，为精密光学元器件制造、光学系统装调提供数据支持。

技术先进性

相移干涉测量技术是利用光的干涉原理，将被测信息以光学强度条纹的形式表征出来，通过对干涉条纹的记录和分析得到被测物体的相位。传统的光学干涉测量中，被测相位的提取是通过对干涉条纹的判读来实现的，因此要求干涉场中存在一定结构和一定数量的条纹。

传统的光学干涉测量技术相比，现代光学干涉测量的主要特点是引入了相位调制技术来辅助被测信息的提取。这些相位调制技术包括：基于频率调制的外差法、基于空域调制的傅里叶载频法以及基于时域调制的相移法。在这三种相位调制技术中，外差法需要用硬件对外差信号进行实时解调，数据采集量大，静态测量时对系统和环境的稳定性要求高；傅里叶载频法存在理论计算误差，测量精度分布不均匀，实际测量中由于CCD采样窗口的限制，计算结果中间精度高、边缘精度低；而相移法通过一定的时间调制，在相同频率的两束光波之间引入变化的光程差，利用CCD采集三幅以上的干涉图，通过简单的运算就可以获得被测对象的相位信息，相比于前两种相位调制方法，既没有傅里叶载频法计算精度的问题，又缩短了外差法测量所需的时间，具有测量精度高、测量速度快、对条纹的对比度和均匀性要求低、在测量区域内为等精度等测量优点。

应用市场

相移干涉仪主要应用有三个方面：精密光学元器件检测、细胞形貌检测和波前检测