[00316922]微机电系统集成设计工具

微机电系统（ＭＥＭＳ）具有体积小、重量轻、成本低、可靠度高等特点，在航空、航天、汽车、消费电子等领域具有广阔应用价值。ＭＥＭＳ设计过程复杂，高效的设计工具现已成为制约我国ＭＥＭＳ产业发展的关键。设计工具分为系统级、器件级、工艺级三个设计层级，并具有三个层级之间的全部数据传递接口，支持不同工程背景的设计者任意入口，任意流程的设计，该设计工具满足大多数机电耦合类ＭＥＭＳ器件的设计和仿真。相关成果获发明专利１１项，并获国家技术发明二等奖。设计工具具有系统级、器件级和工艺级三个设计层级，支持大多数机电耦合类ＭＥＭＳ器件的设计仿真，如微机械陀螺、微加速度计等，仿真速度达到国际先进ＭＥＭＳＣＡＤ水平。

1、设计工具中完整的数据接口支持任意设计流程；

2、丰富的宏模型提取技术支持ＭＥＭＳ器件的创新设计。适用于多种ＭＥＭＳ器件的开发，如惯性ＭＥＭＳ、光学ＭＥＭＳ、ＲＦＭＥＭＳ。项目成果已在３０多个企业、研究院所应用，并结合国家重要需求，提供国外产品无法提供的定制式设计服务，产生了显著社会效益。使用本系统能使ＭＥＭＳ器件，一方面提高ＭＥＭＳ设计者的设计能力，实现了传统设计方法无法完成的复杂ＭＥＭＳ结构集成设计，另一方面设计开发效率提高３－５倍，可产生直接经济效益。

本项目为软件工具，成本主要包括技术成本、开发成本、售后服务及升级等。单套软件成本约２０－４０万元，视具体需求及技术要求不同。技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务。