技术详细介绍
本申请公开的一种平台的定位系统，致动元件进行伸长时，弹簧元件受压缩短，从而使得平台向前移动；当致动元件进行缩短时，弹簧元件伸长，从而使得平台向后移动。因此，在平台振动时，致动元件输出针对性往复运动，对平台的振动进行消减，并对平台的定位误差进行补偿。进而减少了平台的定位时间，提高了平台的定位精度。进而提高了电子制造装备的操作精度和工作效率。
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