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[00314602]一种晶圆料盒定位装置

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201710618106.1

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 厦门立德软件公司

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产权明晰
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对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍

本发明公开一种晶圆料盒定位装置,定位底座用于承托载料盒,板面上的按载料盒的尺寸、在不同位置贯通设置连接孔;限位块通过连接孔可拆卸固定于定位底座的上表面,载料盒的每个边缘至少对应设置一个限位块,通过改变限位块的固定位置,可以与不同尺寸的载料盒相互匹配,从而使限位块能够紧紧地与载料盒的边缘紧贴固定,通过多个限位块的相互配合将载料盒卡接定位。因本发明中的限位块的位置可改变,并且定位底座上的连接孔根据载料盒的尺寸相应设定,从而使限位块的相对间距可以与不同的载料盒相匹配,因而能够对应匹配不同规格尺寸的载料盒,仅需一个定位装置即可定位多种载料盒,不需要更换载料盒,节省了更换的时间,提高生产效率。
本发明公开一种晶圆料盒定位装置,定位底座用于承托载料盒,板面上的按载料盒的尺寸、在不同位置贯通设置连接孔;限位块通过连接孔可拆卸固定于定位底座的上表面,载料盒的每个边缘至少对应设置一个限位块,通过改变限位块的固定位置,可以与不同尺寸的载料盒相互匹配,从而使限位块能够紧紧地与载料盒的边缘紧贴固定,通过多个限位块的相互配合将载料盒卡接定位。因本发明中的限位块的位置可改变,并且定位底座上的连接孔根据载料盒的尺寸相应设定,从而使限位块的相对间距可以与不同的载料盒相匹配,因而能够对应匹配不同规格尺寸的载料盒,仅需一个定位装置即可定位多种载料盒,不需要更换载料盒,节省了更换的时间,提高生产效率。

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