[00314597]一种镍铁锌氧体铁电薄膜存储器及其制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
其他电气自动化
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201710522810.7
交易方式：
技术转让
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联系人：
厦门立德软件公司
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技术详细介绍
本发明提供一种镍铁锌氧体铁电薄膜存储器，包括依次接触的基底、导电薄膜和铁电薄膜，以及设置在所述导电薄膜上的底电极和设置在铁电薄膜上的顶电极；所述导电薄膜为LaNiO3；所述铁电薄膜为Ni0.5Zn0.5Fe2O4。本发明以尖晶石铁氧体Ni0.5Zn0.5Fe2O4为铁电薄膜层，得到的存储器剩余极化强度高，漏电流密度低。本发明还提供了一种镍铁锌氧体铁电薄膜存储器的制备方法，本发明中的制备方法制得的Ni0.5Zn0.5Fe2O4铁电薄膜微观结构更加均匀，薄膜表面的氧空位和孔洞少，使得本发明中的存储器具有较高的剩余极化强度和较低的漏电流密度，并且制备方法简单方便，便于大规模工业化生产。
本发明提供一种镍铁锌氧体铁电薄膜存储器，包括依次接触的基底、导电薄膜和铁电薄膜，以及设置在所述导电薄膜上的底电极和设置在铁电薄膜上的顶电极；所述导电薄膜为LaNiO3；所述铁电薄膜为Ni0.5Zn0.5Fe2O4。本发明以尖晶石铁氧体Ni0.5Zn0.5Fe2O4为铁电薄膜层，得到的存储器剩余极化强度高，漏电流密度低。本发明还提供了一种镍铁锌氧体铁电薄膜存储器的制备方法，本发明中的制备方法制得的Ni0.5Zn0.5Fe2O4铁电薄膜微观结构更加均匀，薄膜表面的氧空位和孔洞少，使得本发明中的存储器具有较高的剩余极化强度和较低的漏电流密度，并且制备方法简单方便，便于大规模工业化生产。
