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[00302817]一种柔性硅基纳米薄膜热电器件

交易价格： 面议

所属行业： 其他电气自动化

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201610263449.6

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：桂林电子科技大学

所在地：广西壮族自治区桂林市

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技术详细介绍

本发明提出了一种柔性硅基纳米薄膜热电器件，包括柔性玻璃基底，在所述柔性玻璃基底上设置有硅基纳米薄膜热电臂、石墨烯电极、石墨烯涂层，所述硅基纳米薄膜热电臂采用物理气相沉积技术沉积在所述柔性玻璃基底上，所述硅基纳米薄膜热电臂之间采用石墨烯电极进行连接。

本发明采用柔性玻璃基底，沉积在基底表面的纳米硅基薄膜在制备过程中可以采用高温快速退火工艺，有利于量子点和超晶格的生成，大幅提高硅基纳米薄膜热电性能。