[00300783]磷化锗锌光参量振荡元件的制作方法
交易价格:
面议
所属行业:
光学仪器
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201110381859.8
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
哈尔滨工业大学
进入空间
所在地:黑龙江哈尔滨市
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- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要:磷化锗锌光参量振荡元件的制作方法,它涉及光参量振荡元件的制作方法。本发明是要解决现有的晶体对于3~5μm中红外波段激光输出功率低的问题。方法:测定晶体的晶面、晶向,然后按抽运波矢与晶体光轴的夹角θ及ψ角将晶体切割成晶体坯料,然后粗抛、精抛,再用真空镀膜法在通光面上先镀连接层,再以ZnSe、ZnS、ZnTe、LaF3、YF3或HfF4为膜层材料,镀在1.9μm~2.2μm波长内的反射率R<1%,在3.5μm~4.8μm波长内的反射率R<0.3%的增透膜,得到磷化锗锌光参量振荡元件。该元件的损伤阈值大于2.0J/cm2,实现功率十瓦以上的3~5μm中红外激光输出,用于中、远红外激光器中。
摘要:磷化锗锌光参量振荡元件的制作方法,它涉及光参量振荡元件的制作方法。本发明是要解决现有的晶体对于3~5μm中红外波段激光输出功率低的问题。方法:测定晶体的晶面、晶向,然后按抽运波矢与晶体光轴的夹角θ及ψ角将晶体切割成晶体坯料,然后粗抛、精抛,再用真空镀膜法在通光面上先镀连接层,再以ZnSe、ZnS、ZnTe、LaF3、YF3或HfF4为膜层材料,镀在1.9μm~2.2μm波长内的反射率R<1%,在3.5μm~4.8μm波长内的反射率R<0.3%的增透膜,得到磷化锗锌光参量振荡元件。该元件的损伤阈值大于2.0J/cm2,实现功率十瓦以上的3~5μm中红外激光输出,用于中、远红外激光器中。