[00297748]一种调焦调平探测装置及方法
交易价格：
面议
所属行业：
其他仪器仪表
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN200810039661.X
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
华中科技大学
进入空间
所在地：湖北武汉市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：一种调焦调平探测装置及方法，装置的测量光路在投影物镜光轴的两侧，由照明、投影、成像及探测诸单元组成，特点是对应一个光斑的探测狭缝阵列的多个探测狭缝，其中的一个探测狭缝用于精测，其他的狭缝用于粗测；由多个探测狭缝和多个探测器根据它们的一一对应关系来探测一个光斑的位置，实现对硅片表面的高精度大范围的高度和倾斜度测量；替换该特征元素，从探测狭缝阵列中取出若干探测狭缝布置成队列，依借冗余探测狭缝来实现对硅片表面高精度大范围的高度和倾斜度测量；所述方法处理步骤依次为：对探测器转出信号处理、探测狭缝判断和测量结果输出。本发明具有结构简单测量精度高的优点。
摘要：一种调焦调平探测装置及方法，装置的测量光路在投影物镜光轴的两侧，由照明、投影、成像及探测诸单元组成，特点是对应一个光斑的探测狭缝阵列的多个探测狭缝，其中的一个探测狭缝用于精测，其他的狭缝用于粗测；由多个探测狭缝和多个探测器根据它们的一一对应关系来探测一个光斑的位置，实现对硅片表面的高精度大范围的高度和倾斜度测量；替换该特征元素，从探测狭缝阵列中取出若干探测狭缝布置成队列，依借冗余探测狭缝来实现对硅片表面高精度大范围的高度和倾斜度测量；所述方法处理步骤依次为：对探测器转出信号处理、探测狭缝判断和测量结果输出。本发明具有结构简单测量精度高的优点。
