技术详细介绍
一、 成果简介
超声电机是一种新型的微电机，超声电机不同于传统的电磁电机：它没有磁场，不依 靠电磁相互作用来转换能量，而是利用压电陶瓷逆效应和超声振动，将材料的微观变形通 过机械共振放大和摩擦耦合转换成转子（旋转型）或滑块（直线型）的宏观运动。
本项目已获得2013年度国家技术发明奖二等奖，获授权国家专利31项，研制了 15种 直线电机及4种精密定位平台，实现了大行程（20-100毫米）、高位移分辨率（＜50纳米）、 高定位精度（0.36微米）、高加速度（5 —10g），已达到国际同类产品的先进水平，部分指标 超过国际同类产品的先进水平。
二、 创新点及主要技术指标
1.结构简单、紧凑、转矩/重量比大（5-10倍）；
2.低速大转矩，可实现直接驱动（不需齿轮箱）；
3.响应快（毫秒级），控制性能好；
4.断电自锁（能获得较大的自锁力矩）；
5.不产生磁场，亦不受外界磁场干扰；
6.低噪声运行（＜45dB）；
7.可以在真空环境下工作（真空度可达10-6 Pa）；
8.形状可以多样化：圆形、方形、空心等等。
