[00280701]低温高速生长SiC单晶的助熔剂
交易价格:
面议
所属行业:
专用化学
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201610705887.3
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
昆明理工大学
进入空间
所在地:云南昆明市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明涉及几种低温高速生长SiC单晶的助溶剂,属于晶体生长技术领域。本发明涉及的几种助溶剂为稀土金属镨(Pr)、铈(Ce)、镧(La)、镝(Dy)和铽(Tb),SiC单晶的生长方法为顶部籽晶溶液生长法。首先,将上述任意一种助溶剂与高纯硅(≥99.9999%)一起加热熔融,然后,将装有SiC籽晶的籽晶杆伸入到熔体液面下0.5~5cm处,旋转籽晶杆或者熔融容器进行SiC单晶的生长;晶体生长结束后将籽晶杆从熔体中移出;最后,用HNO3+HF的混酸去除SiC单晶表面的残留物得到高纯SiC单晶。
本发明涉及几种低温高速生长SiC单晶的助溶剂,属于晶体生长技术领域。本发明涉及的几种助溶剂为稀土金属镨(Pr)、铈(Ce)、镧(La)、镝(Dy)和铽(Tb),SiC单晶的生长方法为顶部籽晶溶液生长法。首先,将上述任意一种助溶剂与高纯硅(≥99.9999%)一起加热熔融,然后,将装有SiC籽晶的籽晶杆伸入到熔体液面下0.5~5cm处,旋转籽晶杆或者熔融容器进行SiC单晶的生长;晶体生长结束后将籽晶杆从熔体中移出;最后,用HNO3+HF的混酸去除SiC单晶表面的残留物得到高纯SiC单晶。