[00274836]GaMnN稀释磁性半导体薄膜材料的制备方法及其应用
交易价格:
面议
所属行业:
其他电气自动化
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN200810124346.7
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
南京大学
进入空间
所在地:江苏南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明采用金属有机物化学气相外延生长技术MOCVD通过Mn掺杂,在蓝宝石衬底材料上生长GaMnN稀释磁性半导体,可获得多种浓度、具有明显的室温铁磁性的GaMnN稀释磁性半导体薄膜材料。该方法生长的Mn掺杂稀释磁性半导体材料GaMnN薄膜可用于自旋电子学器件,依据不同的器件应用生长不同的外延结构,可以制备自旋场效应管,自旋发光二极管,应用于量子计算等领域。本发明可有效地控制GaMnN材料的生长,获得高质量的Mn掺杂的GaN薄膜材料,研究发现Mn掺杂的GaN的本征磁性为顺磁性。本发明与现有的半导体材料生长工艺完全兼容,在材料生长掺杂技术以及生长工艺上属于首次。
本发明采用金属有机物化学气相外延生长技术MOCVD通过Mn掺杂,在蓝宝石衬底材料上生长GaMnN稀释磁性半导体,可获得多种浓度、具有明显的室温铁磁性的GaMnN稀释磁性半导体薄膜材料。该方法生长的Mn掺杂稀释磁性半导体材料GaMnN薄膜可用于自旋电子学器件,依据不同的器件应用生长不同的外延结构,可以制备自旋场效应管,自旋发光二极管,应用于量子计算等领域。本发明可有效地控制GaMnN材料的生长,获得高质量的Mn掺杂的GaN薄膜材料,研究发现Mn掺杂的GaN的本征磁性为顺磁性。本发明与现有的半导体材料生长工艺完全兼容,在材料生长掺杂技术以及生长工艺上属于首次。