[00274813]自支撑氮化镓单异质结声电荷输运延迟线
交易价格:
面议
所属行业:
其他电气自动化
类型:
实用新型专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201220110590.X
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
南京大学
进入空间
所在地:江苏南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本实用新型公开了一种自支撑氮化镓单异质结声电荷输运延迟线,包括自支撑氮化镓半绝缘型衬底,自支撑氮化镓半绝缘型衬底上设置有缓冲层和声表面波叉指换能器,声表面波叉指换能器位于缓冲层两侧的自支撑氮化镓半绝缘型衬底上;缓冲层上设置氮化镓铝势垒层,氮化镓铝势垒层上为ACT电荷输运沟道结构,ACT电荷输运沟道结构两侧的氮化镓铝势垒层上分别设有输入欧姆电极和输出欧姆电极。本实用新型的位错密度小,有利于声表面波的传播。
本实用新型公开了一种自支撑氮化镓单异质结声电荷输运延迟线,包括自支撑氮化镓半绝缘型衬底,自支撑氮化镓半绝缘型衬底上设置有缓冲层和声表面波叉指换能器,声表面波叉指换能器位于缓冲层两侧的自支撑氮化镓半绝缘型衬底上;缓冲层上设置氮化镓铝势垒层,氮化镓铝势垒层上为ACT电荷输运沟道结构,ACT电荷输运沟道结构两侧的氮化镓铝势垒层上分别设有输入欧姆电极和输出欧姆电极。本实用新型的位错密度小,有利于声表面波的传播。