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[00272262]一种高集成度的单光子雪崩二极管探测器阵列单元

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201510096762.0

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 南京邮电大学

进入空间

所在地:江苏南京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开了一种高集成度的单光子雪崩二极管探测器阵列单元,该阵列单元是共用深n阱结构,即:将4个SPAD器件制作在同一个深n阱里,共用阴极n+接触孔,每个SPAD器件采用正八边形结构,并进行蜂窝状排列。该阵列单元结构能够有效地提高SPAD器件的填充系数,增加芯片的利用率,为高密度全集成的SPAD阵列提供了可能。
本发明公开了一种高集成度的单光子雪崩二极管探测器阵列单元,该阵列单元是共用深n阱结构,即:将4个SPAD器件制作在同一个深n阱里,共用阴极n+接触孔,每个SPAD器件采用正八边形结构,并进行蜂窝状排列。该阵列单元结构能够有效地提高SPAD器件的填充系数,增加芯片的利用率,为高密度全集成的SPAD阵列提供了可能。

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