[00269018]含巯基杂环化合物的电镀铜溶液
交易价格:
面议
所属行业:
专用化学
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201310057889.2
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
陕西师范大学
进入空间
所在地:陕西西安市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要:本发明涉及一种含巯基杂环化合物的电镀铜溶液,是通过在电镀铜溶液中添加含巯基吡啶类杂环化合物作为整平剂,以聚二硫二丙烷磺酸钠或3-巯基-1-丙烷磺酸盐的加速剂,聚乙二醇、嵌段聚醚或聚乙烯吡咯烷酮等作为抑制剂以及与氯离子协同作用,实现了电镀工艺中不同深径比的盲微孔无空洞、无缝隙、完美的电镀铜填充,且本发明的电镀铜溶液具有性质稳定、使用寿命长,环境污染小,铜表面沉积厚度小、填充率高,能够达到90%以上,容易生物降解,减少环境污染等的优点。
摘要:本发明涉及一种含巯基杂环化合物的电镀铜溶液,是通过在电镀铜溶液中添加含巯基吡啶类杂环化合物作为整平剂,以聚二硫二丙烷磺酸钠或3-巯基-1-丙烷磺酸盐的加速剂,聚乙二醇、嵌段聚醚或聚乙烯吡咯烷酮等作为抑制剂以及与氯离子协同作用,实现了电镀工艺中不同深径比的盲微孔无空洞、无缝隙、完美的电镀铜填充,且本发明的电镀铜溶液具有性质稳定、使用寿命长,环境污染小,铜表面沉积厚度小、填充率高,能够达到90%以上,容易生物降解,减少环境污染等的优点。