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[00269018]含巯基杂环化合物的电镀铜溶液

交易价格: 面议

所属行业: 专用化学

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201310057889.2

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 陕西师范大学

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所在地:陕西西安市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本发明涉及一种含巯基杂环化合物的电镀铜溶液,是通过在电镀铜溶液中添加含巯基吡啶类杂环化合物作为整平剂,以聚二硫二丙烷磺酸钠或3-巯基-1-丙烷磺酸盐的加速剂,聚乙二醇、嵌段聚醚或聚乙烯吡咯烷酮等作为抑制剂以及与氯离子协同作用,实现了电镀工艺中不同深径比的盲微孔无空洞、无缝隙、完美的电镀铜填充,且本发明的电镀铜溶液具有性质稳定、使用寿命长,环境污染小,铜表面沉积厚度小、填充率高,能够达到90%以上,容易生物降解,减少环境污染等的优点。
摘要:本发明涉及一种含巯基杂环化合物的电镀铜溶液,是通过在电镀铜溶液中添加含巯基吡啶类杂环化合物作为整平剂,以聚二硫二丙烷磺酸钠或3-巯基-1-丙烷磺酸盐的加速剂,聚乙二醇、嵌段聚醚或聚乙烯吡咯烷酮等作为抑制剂以及与氯离子协同作用,实现了电镀工艺中不同深径比的盲微孔无空洞、无缝隙、完美的电镀铜填充,且本发明的电镀铜溶液具有性质稳定、使用寿命长,环境污染小,铜表面沉积厚度小、填充率高,能够达到90%以上,容易生物降解,减少环境污染等的优点。

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