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[00268265]氮离子太赫兹特征谱线探测的滤波器谐振单元及制造方法

交易价格： 面议

所属行业： 自动化元件

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510035761.5

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：上海师范大学

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所在地：上海上海市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

摘要：一种用于氮离子太赫兹特征谱线探测的滤波器谐振单元，由半绝缘砷化镓(SI‑GaAs)衬底和衬底上的金属层构成，半绝缘砷化镓(SI‑GaAs)衬底的厚度为0.63mm，金属层由依次形成在衬底上的5nm厚的钛金属层和120nm厚的金金属层构成，在金属层中形成有镂空的十字架谐振结构阵列。还提供上述滤波器谐振单元的制造方法。通过本发明加工工艺制造的谐振单元，能够实现1.46THz为中心频率的单频率THz带通滤波器。

[00268265]氮离子太赫兹特征谱线探测的滤波器谐振单元及制造方法

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