技术详细介绍
本发明公开了一种探针式轮廓仪形貌测量动态误差的控制方法，涉及探针式轮廓仪形貌测量领域，以下步骤，(1)、确定轮廓仪形貌测量基本参数；(2)、构建测量力模型以及测量力分析；(3)、构建探针跳动的动力学模型；(4)、被测工件形貌测量的仿真；(5)、根据测量要求，优化选择测量速度与工件装夹高度。本发明不需要修改轮廓仪的硬件结构，针对具体的被测工件和测量要求设置扫描速度与工件的装夹高度，实现对测量动态误差和测量力的优化控制。
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