[00258550]多功能集成传感器芯片的制作方法
交易价格：
面议
所属行业：
其他电气自动化
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN200510042729.6
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
西安交通大学
进入空间
所在地：陕西西安市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种多功能集成传感器芯片的制作方法，采用微机械电子系统技术和集成电路微加工技术在一个5mm×5mm面积的管芯上制作出能分别敏感压力、温度、湿度三个传感器单元；三个单元基于的效应不同，其中压力单元基于压阻效应，主要用于检测环境的压力变化；温度单元基于热阻效应，用于检测环境温度的变化；湿度单元基于电容原理，用于检测环境湿度的变化。本发明制作的多功能集成传感器芯片可用于检测环境压力、温度、湿度等与人体舒适度有关的参数，提供给环境调控设备实现舒适度满意的小环境，可集成在便携式仪器上，如手表、手机等，便携、使用方便。
本发明公开了一种多功能集成传感器芯片的制作方法，采用微机械电子系统技术和集成电路微加工技术在一个5mm×5mm面积的管芯上制作出能分别敏感压力、温度、湿度三个传感器单元；三个单元基于的效应不同，其中压力单元基于压阻效应，主要用于检测环境的压力变化；温度单元基于热阻效应，用于检测环境温度的变化；湿度单元基于电容原理，用于检测环境湿度的变化。本发明制作的多功能集成传感器芯片可用于检测环境压力、温度、湿度等与人体舒适度有关的参数，提供给环境调控设备实现舒适度满意的小环境，可集成在便携式仪器上，如手表、手机等，便携、使用方便。
