[00246848]一种物品表面形貌检测方法及装置
交易价格：
面议
所属行业：
光学仪器
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201710304285.1
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
科小易
进入空间
所在地：福建厦门市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本[发明专利]公开一种物品表面形貌检测方法：①低相干光线从三端环形器的端口1射进，从端口2射出，经第一透镜准直后从x‑y扫描振镜中的x振镜射入，y振镜射出；③射出的光线经第二透镜聚焦后经过一分光片被分为两部分光线，一部分从玻璃底面反射，作为参考光，另一部分穿透玻璃后射到被样品表面并反射，作为样品光；④两部分光线共光路返回，经第二透镜汇聚到扫描振镜的y振镜，经y振镜射入x振镜，然后射出；⑤光线经第一透镜汇聚进入三端环形器的端口2，然后从端口3射出；⑥从端口3射出的光线进入光谱仪，光谱仪传递数据给电脑；⑦扫描振镜对样品进行逐点扫描；⑧电脑计算相邻位置的相位差和深度差Δz，得到最终样品表面形貌的定量分布情况。
本[发明专利]公开一种物品表面形貌检测方法：①低相干光线从三端环形器的端口1射进，从端口2射出，经第一透镜准直后从x‑y扫描振镜中的x振镜射入，y振镜射出；③射出的光线经第二透镜聚焦后经过一分光片被分为两部分光线，一部分从玻璃底面反射，作为参考光，另一部分穿透玻璃后射到被样品表面并反射，作为样品光；④两部分光线共光路返回，经第二透镜汇聚到扫描振镜的y振镜，经y振镜射入x振镜，然后射出；⑤光线经第一透镜汇聚进入三端环形器的端口2，然后从端口3射出；⑥从端口3射出的光线进入光谱仪，光谱仪传递数据给电脑；⑦扫描振镜对样品进行逐点扫描；⑧电脑计算相邻位置的相位差和深度差Δz，得到最终样品表面形貌的定量分布情况。
