[00244179]一种功率器件的散热结构及其制造方法
交易价格:
面议
所属行业:
其他电气自动化
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN200910100292.5
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
浙江工业大学
进入空间
所在地:浙江杭州市
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-
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对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一种功率器件的散热结构,所述功率器件散热结构包括漏极金属层与金属覆盖层,所述漏极金属层沉积在功率裸晶圆片背面上,金属覆盖层设有纵向与横向贯穿的微型沟道,微型沟道设置有冷却液的进口和出口,金属覆盖层与漏极金属层键合焊接。以及提供了功率器件的散热结构的制造方法。本发明同时满足微型化和噪音小、且散热效率高。
一种功率器件的散热结构,所述功率器件散热结构包括漏极金属层与金属覆盖层,所述漏极金属层沉积在功率裸晶圆片背面上,金属覆盖层设有纵向与横向贯穿的微型沟道,微型沟道设置有冷却液的进口和出口,金属覆盖层与漏极金属层键合焊接。以及提供了功率器件的散热结构的制造方法。本发明同时满足微型化和噪音小、且散热效率高。