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[00244179]一种功率器件的散热结构及其制造方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN200910100292.5

交易方式: 技术转让 技术转让 技术入股

联系人: 浙江工业大学

进入空间

所在地:浙江杭州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

一种功率器件的散热结构,所述功率器件散热结构包括漏极金属层与金属覆盖层,所述漏极金属层沉积在功率裸晶圆片背面上,金属覆盖层设有纵向与横向贯穿的微型沟道,微型沟道设置有冷却液的进口和出口,金属覆盖层与漏极金属层键合焊接。以及提供了功率器件的散热结构的制造方法。本发明同时满足微型化和噪音小、且散热效率高。
一种功率器件的散热结构,所述功率器件散热结构包括漏极金属层与金属覆盖层,所述漏极金属层沉积在功率裸晶圆片背面上,金属覆盖层设有纵向与横向贯穿的微型沟道,微型沟道设置有冷却液的进口和出口,金属覆盖层与漏极金属层键合焊接。以及提供了功率器件的散热结构的制造方法。本发明同时满足微型化和噪音小、且散热效率高。

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