[00228954]一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法
交易价格：
面议
所属行业：
化工生产
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201510952540.4
交易方式：
技术转让
技术转让
技术入股
联系人：
徐州中国矿业大学大学科技园有限责任公司
进入空间
所在地：江苏徐州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法，属于传感器的催化剂载体制备方法。采用一种电泳沉积的方法在硅圆片上批量制备MEMS甲烷传感器的催化剂载体；硅圆片上制备有多个MEMS甲烷传感器加热元件，每个MEMS甲烷传感器加热元件包括两个金属极板及与之相连的加热器；硅圆片边缘的总金属连接端通过硅圆片上的金属线与所有MEMS甲烷传感器加热元件的金属极板相连；纳米氧化铝溶胶粒径为10-50nm；纳米氧化铝溶胶制备的MEMS甲烷传感器的催化剂载体晶型为γ-Al2O3。优点：方法设备简单，容易操作，可批量制备催化剂载体，制备的催化剂载体涂层均匀、稳定、一致性好。
一种MEMS甲烷传感器的催化剂载体圆片级制备方法，属于传感器的催化剂载体制备方法。采用一种电泳沉积的方法在硅圆片上批量制备MEMS甲烷传感器的催化剂载体；硅圆片上制备有多个MEMS甲烷传感器加热元件，每个MEMS甲烷传感器加热元件包括两个金属极板及与之相连的加热器；硅圆片边缘的总金属连接端通过硅圆片上的金属线与所有MEMS甲烷传感器加热元件的金属极板相连；纳米氧化铝溶胶粒径为10-50nm；纳米氧化铝溶胶制备的MEMS甲烷传感器的催化剂载体晶型为γ-Al2O3。优点：方法设备简单，容易操作，可批量制备催化剂载体，制备的催化剂载体涂层均匀、稳定、一致性好。
