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[00217881]一种氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜的制备方法

交易价格： 面议

所属行业： 其他化学化工

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：201410124720.9

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：沈阳大学

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所在地：辽宁沈阳市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

　　一种氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜的制备方法（专利号201410124720.9），其制备方法依次包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、基体工件的选择与前处理；3、基体工件悬挂方位的确定；4、真空加热处理；5、预轰击工艺的确定；6、沉积工艺的确定。本发明提高了膜层与基体之间的附着力，同时提高了膜层硬度，并具有良好的稳定性和可重复性。

[00217881]一种氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜的制备方法

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