技术详细介绍
基于硅纳米线的化学和生物分子探测器件
本项目将基于先进半导体纳米线结构的制备和定位集成技术，实现高灵敏、高选择识别性的化学和生物分子探测器件。其关键优势在于极细纳米线沟道具有的极高“表面/体积”比，使得经过纳米线沟道的电学输运特性对于“表面微弱电荷的叠加和改变”极其敏感。输出的电学信号能够被方便地探测和分析，比起传统的光学和化学反应探测具有更为快速、方便且有利于重复使用。纳米线场效应传感器具备快速探测、高灵敏度和方面集成处理等多方面技术优势。本项目采用一种新型的、具备自主知识产权的“平面自组装纳米线”生长工艺，能够在各种低成本薄膜衬底上直接“生长和定位”直径在十几个纳米左右的半导体纳米线阵列，这为纳米线传感器的实现和器件集成提供了核心技术基础。