技术详细介绍
硅基多层薄膜体声波生化传感器关键技术及应用研究
多层薄膜体声波传感器可望在生化检测领域有十分重要的应用。本校已在理论方面做了相关的工作，对多层薄膜体声波谐振结构的性能进行了研究，提出了优化谐振模式的有效机电耦合系数和谐振品质因子的两个关键参数，即压电薄膜与基片的声阻抗之比和压电薄膜与电极的声阻抗之比。以近年来在体声波谐振器的工作为基础，研究多层薄膜体声波传感器，在厚度剪切振动模式的频率温度特性以及温度补偿机理；对传感敏感膜为粘弹性材料时，研究多层薄膜体声波传感器的声波能量分布，探究敏感膜表面质点振幅和谐振品质因子随敏感膜粘弹性质的变化规律。上述工作可促使气、液环境中生化物质的微量精确检测迈进一大步。