[01852669]含浮动电极的新型微等离子体器件
联系人：
所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
登录后向技术服务商咨询
发布技术需求
服务免费，交易还可领红包哦
技术详细介绍
本发明公开了一种含浮动电极的新型微等离子体器件,该器件以铝箔为材料基底,铝箔上有密集的阵列微腔,微腔内部有一层氧化铝,作为介质层,如此可形成基本的Al/Al2O3/Al共面型电极结构,微腔两端尺寸较中间要大,仅在微腔的两端之间存有氧化铝,相邻微腔中间之间剩余有纯铝,并作为浮动电极,这样就形成完整的微型腔体阵列,同时微腔上下两侧已绝缘开来的两部分铝箔基底充当器件的两个电极,引出上下两个电极后,整个基底用玻璃密封抽真空,从而得到最终的含浮动电极的新型微等离子体器件。该器件结构简单,便于制作,且可以降低放电的最小维持电压,提高发光效率。