[01791428]宽范围大电流高维持电压的双端ESD集成保护器件及其制备方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种宽范围大电流高维持电压的双端ESD集成保护器件及其制备方法,其中宽范围大电流高维持电压的双端ESD集成保护器件由下至上依次设有金属层,N+衬底、N-外延层、二氧化硅层,所述N-外延层顶端设有两个对称的、贯通二氧化硅层的P+有源区,所述每个P+有源区的外围设有保护环,在所述保护环的外围还设有场限环,P+型有源区通过接触孔引出两个金属电极,并在接触孔四周的二氧化硅层上设有金属场板。本发明采用两个背靠背二极管结构的双端集成器件作为高压ESD保护器件,具有结构简单、成本低、耐压性高等优点。本发明适用于高电压下对器件的ESD/ESO的保护。