[01633094]一种横向高压功率器件的结终端结构5
[ERROR (115, 38): Message=Function isnullorempty is not defined,Source=volt,StackTrace= 在 Igs.Hcms.Volt.VoltEngine.EvalExpression(Expression exp),TargetSite=System.Object EvalExpression(Igs.Hcms.Volt.Tokens.Expression)]
联系人：
[ERROR (137, 38): Message=Function isnullorempty is not defined,Source=volt,StackTrace= 在 Igs.Hcms.Volt.VoltEngine.EvalExpression(Expression exp),TargetSite=System.Object EvalExpression(Igs.Hcms.Volt.Tokens.Expression)] [ERROR (145, 38): Message=Function isnullorempty is not defined,Source=volt,StackTrace= 在 Igs.Hcms.Volt.VoltEngine.EvalExpression(Expression exp),TargetSite=System.Object EvalExpression(Igs.Hcms.Volt.Tokens.Expression)]所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
登录后向技术服务商咨询
发布技术需求
服务免费，交易还可领红包哦
技术详细介绍
本发明属于半导体技术领域,具体的说涉及一种横向高压功率器件的结终端结构。本发明的结构,曲率结终端结构中N型漂移区2内壁和P型埋层9内壁分别向中间延伸至与直接结终端结构中N型漂移区2内壁和P型埋层9内壁连接,延伸方向与直接结终端结构中N型漂移区2和P型埋层9内壁垂直方向都具有ɑ度夹角,ɑ度夹角为45度;这样可以有效缓解连接处电场的曲率效应。在连接处延伸方向的垂直方向,P型埋层9超出N型漂移区2距离为5微米,改善电荷不平衡问题。本发明的有益效果为,改善直线结终端结构与曲率结终端结构相连部分电荷不平衡与连接处电场曲率效应的问题,避免器件提前击穿,从而得到最优化的击穿电压。