[01624149]一种清洁、低碳的大型高真空抽气机组-分子增压泵+电弧钛泵机组
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技术详细介绍
大型高真空抽气装置普遍采用大型扩散泵+罗茨泵抽气机组。存在能耗高、油蒸汽污染严重等缺点，是真空产业中亟待解决，但一直未能攻克的难题。该项成果提供一种新型的抽气机组：分子增压泵+电弧钛泵机组。其中分子增压泵用于取代中真空罗茨泵，并抽除高真空惰性气体，电弧钛泵用于取代扩散泵，抽除高真空的活性气体，二种泵优势互补，构成一台清洁、节能、大抽速、大流量的高真空抽气机组。该项成果现已用于大型蒸发镀膜设备，成功取代了2.5万L/s的大型扩散泵和1，200L/s的大型罗茨泵，取得了1.节省抽气能耗80％，每台设备，节电20万度/年。2.全过程消除油蒸汽污染，提高真空产品的质量。3.资金回收快。新添设备：8个月收回增加费用。旧设备改造：18个月收回改造费用。4.社会效益显著。中国现有大型高真空设备约8万台，按该项成果推广率80％测算，年节电超过100亿度/年。