[01609160]微小型泵及其制造测试技术研究

该项目由国家自然科学重点基金和教委基金资助。微型机电系统是一个新兴的、多学科交叉的高科技领域。微小型泵及其制造测试技术是其中的重要研究方向。该项目结合多种微小型泵和系统的新原理、设计制造、实验测量和初步应用等关键技术研究，研制了微流量传感器、微阀和微泵等十余种微器件和实验系统。仅工艺实验三硅片400多片，参加研究人员超过40人。取得六方面的创新成果：用硅微加工技术研制出我国第一个创新结构的硅微泵，达到国际先进水平；攻克了有关的硅微细加工、准LIGA、精密电火花加工和特殊材料加工等关键工艺；在国际上首次开展了微锥管正反向过流特性研究，为无阀微型泵提供了物理解释和设计念真依据，研究了不同尺寸和截面的微管道过流特性，受到国外同行的重视；微机械材料特性的研究填补了国内空白，硅微梁的疲劳实验数据被国际权威引用；建立了微小型泵的力学模型和设计仿真方法；研制出新概念的有应用价值的微仪器。该项目已通过国家技术鉴定，申报发明专利，发表论文70余篇，截止97年底被国际检索18篇26次。自然科学基金结题评为A。已与美、法等国形成合作研究关系。小型齿轮泵、TH9601集成电路芯片集成微型测试记录仪已有应用，有效益；已研制出微推时器样机。