[01494624]硅基薄膜叠层太阳电池成套关键技术研发

研究成果来源于国家重点863项目“非晶硅/微晶硅叠层薄膜太阳电池成套关键技术研发”（项目编号2009AA050602）。项目研究属于新型能源中薄膜太阳电池的技术领域。对应的技术原理是：利用半导体器件光生伏特效应把光能转化为电能。通过项目实施，设计制造了具有自主知识产权的可实现兆瓦级的规模化生产的大面积VHF-PECVD系统。该系统实现了器件质量硅基薄膜的大面积均匀高速沉积，研发成功具有自主知识产权的年产能2兆瓦非晶硅/微晶硅叠层电池组件生产线。项目研制玻璃衬底面积为1245mm×635mm、PIN型非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结叠层电池组件，最大输出功率75.6W。打破了国际上几家大型薄膜光伏设备公司对硅薄膜电池生产线关键设备的垄断，成功实现了基于微晶硅多结叠层太阳电池规模化生产、拥有自主知识产权的生产线关键设备的国产化，大大提升了中国在硅基薄膜太阳电池制造领域的核心竞争力。且由于掌握了基于微晶硅的多结叠层硅薄膜太阳电池组件用兆瓦级关键装备的设计、加工与调试，以及工艺制造技术，为进一步实现大规模生产，开发30-40MW生产线中的关键装备以及稳定效率大于10%的低成本硅基薄膜叠层太阳电池组件制造技术奠定了基础。