[01439151]一种红外-太赫兹双波段阵列探测器微桥结构及其制备方法5
联系人：
所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
登录后向技术服务商咨询
发布技术需求
服务免费，交易还可领红包哦
技术详细介绍
本发明公开了一种红外-太赫兹双波段阵列探测器微桥结构及其制备方法,用于红外与太赫兹波段的探测与成像。所述微桥结构的顶层为双层氧化钒薄膜,下层氧化钒薄膜为具有高电阻温度系数（TCR）的无相变氧化钒薄膜,用作红外与太赫兹波段的敏感层,上层氧化钒薄膜具有较低的相变温度,可发生半导体相-金属相的可逆相变,半导体相时与下层氧化钒薄膜一起用作红外吸收层,相变为金属相后用作太赫兹辐射吸收层。利用微桥结构的谐振可充分吸收红外辐射,调节金属相氧化钒薄膜的电导率、折射率等光电参数,又可实现对太赫兹辐射吸收的最大化。该微桥结构能够实现双波段探测与成像,制备工艺简单,与MEMS工艺兼容,具有广阔的应用前景。