技术详细介绍
本发明涉及一种室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜及其制备方法,采用射频磁控溅射法,以高纯度的ZNO粉末为原料制作的ZNO陶瓷靶材作为阴极溅射靶材;对溅射仪抽真空使本底真空度达1.0×10-4～1.0×10-5PA;然后向溅射仪中通入氩气和氧气,使溅射气压为2.7PA,调节靶基距为40～70MM;利用溅射气体氩气放电产生等离子体轰击ZNO陶瓷靶材,沉积在衬底基片上形成ZNO薄膜;对ZNO薄膜在气氛环境中经退火处理,得到具有室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜。本发明工艺简单,操作控制方便,此方法制备的ZNO薄膜适合于短波长发光器件的研究、开发,可应用于信息存储、光通信、医疗等领域。