技术详细介绍
本发明公开了一种多自由度光学测量系统，可应用于二维小角度（或微位移）的测量。此种系统包括激光发射器、误差敏感单元、光电接收单元以及信号处理单元。误差敏感单元包括两个直角棱镜（２）、（３）；光电接收单元包括光电接收器件（５）和准直物镜（４）；测量位移时须把准直物镜（４）去掉。光电接收器件（５）置于准直物镜（４）的焦平面上，半导体激光器（１）发出的基准光束经直角棱镜（３）和直角棱镜（２）反射后，通过准直物镜（４）将其光斑成像在光电接收器件（５）的光敏面上，其中半导体激光器（１）和光电接收单元安装在固定位置，而误差敏感单元由夹具装夹后安装在被测物体上，随被测物体同步移动。此系统在测量过程中的光程是恒定的，从而消除由于激光发散角而引起的远近光点光束直径不同的影响。通过光斑在光敏面上的位移量计算出被测物体在运动过程中小角度（或微位移）的变化。误差敏感单元可以安装在导轨、工作台等装置上，实现其角度（或位移）的实时动态测量，测量范围大、精度高，可广泛运用与生产、检测等领域。
专利权人：湖北工业大学