技术详细介绍
本发明公开了一种电磁驱动微镜，它包括微反射镜板，所述微反射镜板的中心设置有一反射镜面，所述微反射镜板的边缘部设置有至少一闭合环状的驱动线圈，两端则分别通过一扭转梁与一支撑框架连接，所述支撑框架两侧分别设有至少一永磁磁铁，在所述驱动线圈被通入电流后，所述微反射镜板可在驱动线圈与永磁磁铁相互作用产生的电磁力驱动下绕扭转梁扭转。本发明具有扭转角度大、驱动电压低等优点，既可以实现高频谐振大角度扫描，又可以实现非谐振低速大角度扫描，可应用在光束扫描投影显示系统、光谱仪、条形码扫描器、共聚焦显微镜、内窥镜等光学仪器。